Физика и техника полупроводников
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Физика и техника полупроводников:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Физика и техника полупроводников, 2022, том 56, выпуск 6, страницы 528–532
DOI: https://doi.org/10.21883/FTP.2022.06.52582.9829 (Mi phts7051) 		 
Эта публикация цитируется в 1 научной статье (всего в 1 статье)

Электронные свойства полупроводников

Особенности электрофизических параметров кремния, легированного последовательно примесными атомами фосфора и бора

Х. Ф. Зикриллаев, К. С. Аюпов, Г. Х. Мавлонов, А. А. Усмонов, М. М. Шоабдурахимова

Ташкентский государственный технический университет, 100095 Ташкент, Узбекистан
PDF полного текста (471 kB) Список цитирования (1)
DOI: https://doi.org/10.21883/FTP.2022.06.52582.9829
Аннотация: Изучены образцы кремния, последовательно легированные примесными атомами фосфора и бора. Эти исследования позволили получить данные о взаимодействии и распределении примесных атомов фосфора и бора в кремнии. Установлено, что в таких образцах кремния меняется подвижность электронов и дырок. Из анализа полученных результатов было установлено, что атомы бора изменяют тип проводимости материала до глубины 2 мкм за счет компенсации атомов фосфора, которые в 4 раза превышают концентрацию бора в кремнии.
Ключевые слова: полупроводник, кремний, фосфор, бор, легирование, подвижность, диффузия, концентрация.
Поступила в редакцию: 02.03.2022
Исправленный вариант: 15.03.2022
Принята в печать: 15.03.2022
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: Х. Ф. Зикриллаев, К. С. Аюпов, Г. Х. Мавлонов, А. А. Усмонов, М. М. Шоабдурахимова, “Особенности электрофизических параметров кремния, легированного последовательно примесными атомами фосфора и бора”, Физика и техника полупроводников, 56:6 (2022), 528–532
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{ZikAyuMav22}
\by Х.~Ф.~Зикриллаев, К.~С.~Аюпов, Г.~Х.~Мавлонов, А.~А.~Усмонов, М.~М.~Шоабдурахимова
\paper Особенности электрофизических параметров кремния, легированного последовательно примесными атомами фосфора и бора
\jour Физика и техника полупроводников
\yr 2022
\vol 56
\issue 6
\pages 528--532
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/phts7051}
\crossref{https://doi.org/10.21883/FTP.2022.06.52582.9829}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=49222828}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/phts7051
  • https://www.mathnet.ru/rus/phts/v56/i6/p528
    • Эта публикация цитируется в следующих 1 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Физика и техника полупроводников Физика и техника полупроводников
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2025