Физика и техника полупроводников
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Физика и техника полупроводников:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Физика и техника полупроводников, 2022, том 56, выпуск 6, страницы 542–545
DOI: https://doi.org/10.21883/FTP.2022.06.52585.9832 (Mi phts7055) 		 
Эта публикация цитируется в 1 научной статье (всего в 1 статье)

Спектроскопия, взаимодействие с излучениями

Эффективность возбуждения центров дислокационной люминесценции в кремнии с кислородными преципитатами

Н. А. Соболев, А. Е. Калядин, К. Ф. Штельмах, Е. И. Шек, В. И. Сахаров, И. Т. Серенков

Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, 194021 Санкт-Петербург, Россия
PDF полного текста (320 kB) Список цитирования (1)
DOI: https://doi.org/10.21883/FTP.2022.06.52585.9832
Аннотация: Исследовано влияние мощности накачки на интенсивность фотолюминесценции центров дислокационной люминесценции в кремнии $p$-типа проводимости, содержащем кислородные преципитаты. Кислородные преципитаты формировались в результате трехступенчатого отжига, используемого для создания геттера быстро диффундирующих примесей в технологии микроэлектроники, а центры дислокационной люминесценции D1 и D2 создавались в процессе последующего отжига при 1000$^\circ$C в потоке аргона. Измерены эффективности возбуждения фотолюминесценции D1 и D2 линий при температуре жидкого гелия.
Ключевые слова: дислокационная люминесценция, кремний, кислородные преципитаты, эффективность возбуждения фотолюминесценции.
Поступила в редакцию: 02.03.2022
Исправленный вариант: 25.03.2022
Принята в печать: 25.03.2022
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: Н. А. Соболев, А. Е. Калядин, К. Ф. Штельмах, Е. И. Шек, В. И. Сахаров, И. Т. Серенков, “Эффективность возбуждения центров дислокационной люминесценции в кремнии с кислородными преципитатами”, Физика и техника полупроводников, 56:6 (2022), 542–545
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{SobKalSht22}
\by Н.~А.~Соболев, А.~Е.~Калядин, К.~Ф.~Штельмах, Е.~И.~Шек, В.~И.~Сахаров, И.~Т.~Серенков
\paper Эффективность возбуждения центров дислокационной люминесценции в кремнии с кислородными преципитатами
\jour Физика и техника полупроводников
\yr 2022
\vol 56
\issue 6
\pages 542--545
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/phts7055}
\crossref{https://doi.org/10.21883/FTP.2022.06.52585.9832}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=49222830}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/phts7055
  • https://www.mathnet.ru/rus/phts/v56/i6/p542
    • Эта публикация цитируется в следующих 1 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Физика и техника полупроводников Физика и техника полупроводников
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2025