|
XXVI Международный симпозиум "Нанофизика и наноэлектроника" , Нижний Новгород, 14-17 марта 2022г.
Влияние процесса формирования единичного кластера радиационных дефектов на проводимость канала транзисторной структуры
И. Ю. Забавичевab, А. С. Пузановab, С. В. Оболенскийab a Нижегородский государственный университет им. Н. И. Лобачевского, 603950 Нижний Новгород, Россия
b Филиал РФЯЦ ВНИИЭФ "НИИИС им. Ю.Е. Седакова",
603950 Нижний Новгород, Россия
Аннотация:
Исследовано влияние формирования единичного кластера радиационных дефектов на характеристики короткоканальных структур. Проведены оценки величины энергии ядерной частицы, способной сформировать кластер радиационных дефектов, вызывающий сбой и отказ работы современных кремниевых транзисторов с различными размерами рабочих областей.
Ключевые слова:
короткоканальный транзистор, кластер радиационных дефектов, одиночный сбой.
Поступила в редакцию: 02.03.2022 Исправленный вариант: 25.03.2022 Принята в печать: 25.03.2022
Образец цитирования:
И. Ю. Забавичев, А. С. Пузанов, С. В. Оболенский, “Влияние процесса формирования единичного кластера радиационных дефектов на проводимость канала транзисторной структуры”, Физика и техника полупроводников, 56:7 (2022), 637–641
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/phts7075 https://www.mathnet.ru/rus/phts/v56/i7/p637
|
| Статистика просмотров: |
| Страница аннотации: | 45 | | PDF полного текста: | 20 |
|