Кремниевые светодиоды с дислокационной люминесценцией, сформированные с участием кислородных преципитатов

Исследованы кремниевые светодиоды с дислокационной электролюминесценцией при комнатной температуре. При изготовлении светодиодных структур хорошо известный метод формирования центров дислокационной люминесценции в процессе отжигов кремния с высокой концентрацией кислорода в потоке аргона был модифицирован путем введения предварительной имплантации ионов O$^+$ и проведения заключительного отжига в хлорсодержащей атмосфере. В спектрах электролюминесценции при токах $<$ 150 мА доминирует D1 линия дислокационной люминесценции, при увеличении тока начинает доминировать линия краевой люминесценции. Эффективность возбуждения электролюминесценции D1 центра при комнатной температуре равна 3.3$\cdot$10$^{-20}$ см$^2$ $\cdot$ с.