|
|
Физика и техника полупроводников, 2015, том 49, выпуск 1, страницы 98–101
(Mi phts7191)
|
|
|
|
Эта публикация цитируется в 7 научных статьях (всего в 7 статьях)
XVIII симпозиум "Нанофизика и наноэлектроника" , Нижний Новгород, 10-14 марта 2014 г.
Эпитаксиальный рост гексагональных политипов кремния на сапфире
Д. А. Павлов, А. В. Пирогов, Н. О. Кривулин, А. И. Бобров Нижегородский государственный университет им. Н. И. Лобачевского
Аннотация:
В структурах кремний на сапфире методами высокоразрешающей просвечивающей электронной микроскопии обнаружено формирование монокристаллического гексагонального политипа кремния. Возникновение включений со структурой, отличной от структуры алмаза, связывается с образованием в кристаллической решетке кремния областей интенсивного двойникования и скоплений дефектов упаковки, формирующих собственную кристаллическую структуру. Проведенные исследования указывают на принадлежность данной модификации к политипу кремния $9R$.
Поступила в редакцию: 23.05.2014 Принята в печать: 15.06.2014
Образец цитирования:
Д. А. Павлов, А. В. Пирогов, Н. О. Кривулин, А. И. Бобров, “Эпитаксиальный рост гексагональных политипов кремния на сапфире”, Физика и техника полупроводников, 49:1 (2015), 98–101; Semiconductors, 49:1 (2015), 95–98
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/phts7191 https://www.mathnet.ru/rus/phts/v49/i1/p98
|
|