|
|
Физика и техника полупроводников, 2015, том 49, выпуск 4, страницы 472–482
(Mi phts7259)
|
|
|
|
Эта публикация цитируется в 7 научных статьях (всего в 7 статьях)
Полупроводниковые структуры, низкоразмерные системы, квантовые явления
Температурные зависимости удельного контактного сопротивления в омических контактах к $n^+$-InN
А. В. Саченкоa, А. Е. Беляевa, Н. С. Болтовецb, П. Н. Брунковcd, В. Н. Жмерикc, С. В. Ивановc, Л. М. Капитанчукe, Р. В. Конаковаa, В. П. Кладькоa, П. Н. Романецa, П. О. Сайa, Н. В. Сафрюкa, В. Н. Шереметa a Институт физики полупроводников им. В. Е. Лашкарева НАН Украины, г. Киев
b Государственное предприятие НИИ "Орион",
03057 Киев, Украина
c Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, г. Санкт-Петербург
d Санкт-Петербургский национальный исследовательский университет информационных технологий, механики и оптики
e Институт электросварки им. Е. О. Патона НАН Украины
Аннотация:
Измерены температурные зависимости удельного контактного сопротивления $(\rho_c)$ омических контактов на основе системы Au–Ti–Pd–InN при уровне легирования InN 2 $\cdot$ 10$^{18}$ см$^{-3}$, в диапазоне температур от 4.2 до 300 K. При температурах $T>$ 150 K получены линейно растущие зависимости $\rho_c(T)$. Зависимости объяснены в рамках механизма протекания термоэмиссионного тока через металлические шунты, сопряженные с дислокациями. Достигнуто хорошее согласие теоретических зависимостей с экспериментом. Оно получено в предположениях, что протекающий ток ограничивается суммарным сопротивлением металлических шунтов, а плотность проводящих дислокаций составляет $\sim$ 5 $\cdot$ 10$^9$ см$^{-2}$. Методом рентгеновской дифрактометрии измерена плотность винтовых и краевых дислокаций в исследованной структуре, и установлено, что их суммарная плотность превышает 10$^{10}$ см$^{-2}$.
Поступила в редакцию: 31.07.2014 Принята в печать: 04.09.2014
Образец цитирования:
А. В. Саченко, А. Е. Беляев, Н. С. Болтовец, П. Н. Брунков, В. Н. Жмерик, С. В. Иванов, Л. М. Капитанчук, Р. В. Конакова, В. П. Кладько, П. Н. Романец, П. О. Сай, Н. В. Сафрюк, В. Н. Шеремет, “Температурные зависимости удельного контактного сопротивления в омических контактах к $n^+$-InN”, Физика и техника полупроводников, 49:4 (2015), 472–482; Semiconductors, 49:4 (2015), 461–471
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/phts7259 https://www.mathnet.ru/rus/phts/v49/i4/p472
|
|