|
|
Физика и техника полупроводников, 2015, том 49, выпуск 4, страницы 509–514
(Mi phts7264)
|
|
|
|
Эта публикация цитируется в 4 научных статьях (всего в 4 статьях)
Аморфные, стеклообразные, органические полупроводники
Условия устойчивого переключения в ячейках памяти на фазовых переходах
А. И. Поповa, С. М. Сальниковab, Ю. В. Ануфриевab a Национальный исследовательский университет «Московский энергетический институт»
b Институт нанотехнологий микроэлектроники РАН
Аннотация:
Разработаны и реализованы три типа ячеек энергонезависимой памяти различных конструкций на фазовых переходах. Рассмотрено влияние конструктивных особенностей ячеек и размеров активной области на характеристики переключения и работоспособность ячеек в целом. Причины отказов ячеек анализировались путем получения серии растровых электронных изображений при послойном травлении образцов. Показано, что с точки зрения переключения в высокоомное состояние конструкция ячейки является наиболее критическим фактором. Проанализированы причины этого и сформулирован критерий для обеспечения устойчивой работы ячеек энергонезависимой памяти на фазовых переходах.
Поступила в редакцию: 04.09.2014 Принята в печать: 10.09.2014
Образец цитирования:
А. И. Попов, С. М. Сальников, Ю. В. Ануфриев, “Условия устойчивого переключения в ячейках памяти на фазовых переходах”, Физика и техника полупроводников, 49:4 (2015), 509–514; Semiconductors, 49:4 (2015), 498–503
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/phts7264 https://www.mathnet.ru/rus/phts/v49/i4/p509
|
|