|
|
Физика и техника полупроводников, 2015, том 49, выпуск 5, страницы 599–602
(Mi phts7281)
|
|
|
|
Эта публикация цитируется в 4 научных статьях (всего в 4 статьях)
Спектроскопия, взаимодействие с излучениями
Спектрометрия ионного рассеяния и комбинационное рассеяние света в монокристаллах GaS, подвергнутых облучению водородом с энергией 140 кэВ
А. А. Гарибовa, Р. С. Мадатовab, Ф. Ф. Комаровc, В. В. Пилькоc, Ю. М. Мустафаевa, Ф. И. Ахмедовa, М. М. Джахангировa a Институт радиационных проблем Национальной академии наук Азербайджана, Az-1143 Баку, Азербайджан
b Национальная авиационная академия Азербайджана,
Az-1045, Баку, Азербайджан
c ИТЦК "Нанотехнологий и физической электроники" Белорусский государственный университет, 220050 Минск, Белоруссия
Аннотация:
Методами комбинационного рассеяния света и резерфордовского обратного рассеяния исследована степень структурного беспорядка слоистых кристаллов GaS до и после имплантации водородом (H$^+_2$) с энергией 140 кэВ. Показано, что распределение компонентов кристалла по глубине однородно и до доз 5 $\cdot$ 10$^{15}$ см$^{-2}$ стехиометрический состав компонентов соединения соблюдается. Экспериментальное значение критической дозы начала аморфизации составляет около 5 $\cdot$ 10$^{15}$ см$^{-2}$ и находится в соответствии с вычисленным значением. Результаты, полученные методом комбинационного рассеяния света, подтверждают сохранение кристалличности структуры и начала процесса аморфизации.
Поступила в редакцию: 30.06.2014 Принята в печать: 20.10.2014
Образец цитирования:
А. А. Гарибов, Р. С. Мадатов, Ф. Ф. Комаров, В. В. Пилько, Ю. М. Мустафаев, Ф. И. Ахмедов, М. М. Джахангиров, “Спектрометрия ионного рассеяния и комбинационное рассеяние света в монокристаллах GaS, подвергнутых облучению водородом с энергией 140 кэВ”, Физика и техника полупроводников, 49:5 (2015), 599–602; Semiconductors, 49:5 (2015), 586–589
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/phts7281 https://www.mathnet.ru/rus/phts/v49/i5/p599
|
|