Ионная имплантация Er в поликристаллический теллурид кадмия

Исследованы особенности ионной имплантации поликристаллического теллурида кадмия с размерами зерен 20–1000 мкм. Выбор Er для имплантации связан с возможностью использования редких земель в качестве люминесцентных “зондов” при изучении примесно-дефектного состава материалов и его изменении при различных технологических обработках. По данным микрофотолюминесценции обнаружено, что по мере уменьшения размеров кристаллических зерен значительно увеличивается радиационная “стойкость” материала. Микрофотолюминесцентная топография образцов показала эффективность люминесцентного редкоземельного “зонда” для выявления в образцах областей с повышенной концентрацией примесей и дефектов, в том числе мезеренных границ.