Исследование свойств протяженных дефектов в пластически деформированном кремнии методами EBIC и LBIC

Проведены сравнительные экспериментальные исследования одномерных и двумерных дефектов в пластически деформированном кремнии методами EBIC и LBIC. Показано, что контраст двумерных дефектов – следов за дислокациями – в методе LBIC может существенно превышать контраст в методе EBIC, что хорошо коррелирует с результатами расчетов. Основной причиной более высокой чувствительности метода LBIC является более глубокое проникновение оптического пучка в материал по сравнению с электронным пучком растрового электронного микроскопа.