Дальнодействующее ускорение комплексообразования железа или хрома с бором в кремнии при ионной имплантации аргона

С помощью техники ЭПР и измерений эффекта Холла исследовано изменение свойств монокристаллического кремния с примесями железа или хрома и различным содержанием мелких примесей бора или фосфора в результате ионного облучения аргоном. Установлено, что имплантация аргона приводит к ускорению процесса комплексооразования межузельных примесей железа или хрома с бором или другими неконтролируемыми акцепторами далеко за слоем торможения ионов аргона. Предполагается, что причиной ускорения комплексообразования является увеличение диффузионной подвижности примесей железа или хрома в результате взаимодействия упругих волн, фононов, излучаемых из области торможения ионов аргона.