|
|
Физика и техника полупроводников, 2015, том 49, выпуск 7, страницы 942–950
(Mi phts7338)
|
|
|
|
Эта публикация цитируется в 7 научных статьях (всего в 7 статьях)
Полупроводниковые структуры, низкоразмерные системы, квантовые явления
Влияние конструкции буфера и ориентации подложки на подвижности электронов в метаморфных структурах In$_{0.70}$Al$_{0.30}$As/In$_{0.76}$Ga$_{0.24}$As/In$_{0.70}$Al$_{0.30}$As на подложках GaAs
В. А. Кульбачинскийabc, Л. Н. Овешниковc, Р. А. Лунинa, Н. А. Юзееваd, Г. Б. Галиевd, Е. А. Климовd, С. С. Пушкаревd, П. П. Мальцевd a Московский государственный университет имени М. В. Ломоносова, 119991 Москва, Россия
b Национальный исследовательский ядерный университет "МИФИ", 115409 Москва, Россия
c Национальный исследовательский центр "Курчатовский институт", г. Москва
d Институт сверхвысокочастотной полупроводниковой электроники Российской академии наук, 117105 Москва, Россия
Аннотация:
Исследовано влияние конструкции буфера и разориентации подложки на электрофизические свойства квантовых ям In$_{0.70}$Al$_{0.30}$As/In$_{0.76}$Ga$_{0.24}$As/In$_{0.70}$Al$_{0.30}$As на подложке GaAs. Измерены температурные (в интервале температур 4.2 $<T<$ 300 K) и полевые (в магнитных полях до 6 Тл) зависимости сопротивлений образцов. Выявлено наличие анизотропии сопротивлений в разных кристаллографических направлениях в зависимости от ориентации подложки и конструкции метаморфного буферного слоя. Кроме этого исследован эффект Холла и эффект Шубникова–де Гааза. Из эффекта Шубникова–де Гааза были определены электронные подвижности раздельно в нескольких заполненных подзонах размерного квантования в разных кристаллографических направлениях. Расчетная анизотропия подвижностей соответствует экспериментальным данным анизотропии сопротивлений.
Поступила в редакцию: 16.12.2014 Принята в печать: 25.12.2014
Образец цитирования:
В. А. Кульбачинский, Л. Н. Овешников, Р. А. Лунин, Н. А. Юзеева, Г. Б. Галиев, Е. А. Климов, С. С. Пушкарев, П. П. Мальцев, “Влияние конструкции буфера и ориентации подложки на подвижности электронов в метаморфных структурах In$_{0.70}$Al$_{0.30}$As/In$_{0.76}$Ga$_{0.24}$As/In$_{0.70}$Al$_{0.30}$As на подложках GaAs”, Физика и техника полупроводников, 49:7 (2015), 942–950; Semiconductors, 49:7 (2015), 921–929
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/phts7338 https://www.mathnet.ru/rus/phts/v49/i7/p942
|
|