Структурные и фотолюминесцентные свойства нанонитей, формируемых металл-стимулированным химическим травлением монокристаллического кремния различной степени легирования

Методами электронной микроскопии, комбинационного рассеяния света и фотолюминесценции исследованы слои кремниевых нанонитей, выращенных металл-стимулированным травлением монокристаллических кремниевых подложек $p$-типа проводимости с удельным сопротивлением 10 и 0.001 $\Omega$ $\cdot$ см и ориентацией поверхности (100). Установлено, что нанонити, выращенные на слабо легированных подложках, имеют непористую структуру в виде кристаллических остовов, покрытых нанокристаллами с размерами 3–5 нм. Нанонити, выращенные на сильно легированных подложках, имеют пористую структуру и содержат как малые нанокристаллы, так и более крупные кристаллиты с равновесными носителями заряда, которые влияют на межзонную излучательную рекомбинацию. Установлено, что интенсивность фотолюминесценции нанонитей в диапазоне спектра 1.3–2.0 эВ зависит от присутствия молекулярного кислорода.