|
|
Физика и техника полупроводников, 2015, том 49, выпуск 10, страницы 1335–1338
(Mi phts7404)
|
|
|
|
Электронные свойства полупроводников
Влияние ионизационных потерь энергии высокоэнергетичных ионов висмута на развитие гелиевых блистеров в кремнии
В. Ф. Реутовa, С. Н. Дмитриевa, А. С. Сохацкийa, А. Г. Залужныйb a Объединенный институт ядерных исследований, Лаборатория ядерных реакций им. Г. Н. Флерова, 141980 Дубна, Россия
b Национальный исследовательский ядерный университет "МИФИ", 115409 Москва, Россия
Аннотация:
Понимание особенностей поведения гелия в твердых телах в условиях воздействия интенсивного ионизирующего излучения представляет определенный интерес при решении многих проблем ядерного, термоядерного и космического материаловедения, а также в микроэлектронике. В работе описывается обнаруженный эффект подавления образования гелиевых блистеров на поверхности ионно-легированного гелием кремния в результате облучения высокоэнергетическими ионами висмута. Сделано предположение о возможном уменьшении концентрации атомов гелия в кремнии за счет их радиационно-индуцированной десорбции из зоны легирования в условиях ионизационного воздействия от высокоэнергетических ионов висмута.
Поступила в редакцию: 17.03.2015 Принята в печать: 26.03.2015
Образец цитирования:
В. Ф. Реутов, С. Н. Дмитриев, А. С. Сохацкий, А. Г. Залужный, “Влияние ионизационных потерь энергии высокоэнергетичных ионов висмута на развитие гелиевых блистеров в кремнии”, Физика и техника полупроводников, 49:10 (2015), 1335–1338; Semiconductors, 49:10 (2015), 1290–1293
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/phts7404 https://www.mathnet.ru/rus/phts/v49/i10/p1335
|
|