Рентгенофлуоресцентный анализ стекол Ge$_{1-x}$Se$_x$, As$_{1-x}$Se$_x$ и Ge$_{1-x-y}$As$_y$Se$_x$ с использованием электронного возбуждения

Метод рентгенофлуоресцентного анализа с возбуждением флуоресценции пучком электронов с энергией 30 кВ применен для определения содержания германия, мышьяка и селена в стеклообразных сплавах Ge$_{1-x}$Se$_x$, As$_{1-x}$Se$_x$ и Ge$_{1-x-y}$As$_y$Se$_x$. С использованием калибровочных зависимостей количественный состав стекол определен с точностью $\pm$ 0.0002 по параметрам $x$ и $y$ в поверхностном слое глубиной $\sim$ 0.1 мкм.