Влияние процессов самоорганизации, дефектов, примесей, а также автокаталитических процессов на параметры пленок и наностержней ZnO

Исследовано влияние параметров нанесения пленок ZnO на различные материалы подложек при использовании магнетронного распыления на переменном токе в газовой смеси аргона и кислорода. Наблюдалось явление самоорганизации, приводящее к неизменности морфологии поверхности пленок ZnO при варьировании материалов подложки и параметров нанесения. Параметры спектров макро- и микрофотолюминесценции исследованных пленок ZnO незначительно отличались от параметров спектров фотолюминесценции объемных кристаллов ZnO, полученных методом гидротермального роста. Наличие интенсивного излучения с малой величиной FWHM в разных областях спектра дает возможность рассматривать пленки ZnO, полученные магнетронным распылением, легированные РЗИ, как перспективный материал при создании оптоэлектронных приборов, работающих в широком спектральном диапазоне. Возможность реализации магнитного упорядочения при легировании РЗИ существенно расширяет функциональные возможности пленок ZnO.
Параметры спектров фотолюминесценции наностержней ZnO определяются геометрическими параметрами, концентрацией и типом введенных примесей.