Эволюция структурно-морфологических свойств при отжиге многослойной нанопериодической системы SiO$_x$/ZrO$_2$, содержащей нанокластеры кремния

Методом просвечивающей электронной микроскопии поперечного среза исследованы структурно-морфологические свойства нанопериодических структур, полученных поочередным испарением в вакууме SiO и ZrO$_2$ с последующим отжигом при температурах 500–1100$^\circ$C. До 700$^\circ$C включительно слои были аморфными. При 900 и 1000$^\circ$C в слоях ZrO$_2$ образовывались нанокристаллы, разделенные двойниковыми границами либо аморфными областями. Формирование нанокристаллов кремния в слоях SiO$_x$ происходит после отжигов при 1000 и 1100$^\circ$C. При 1100$^\circ$C на местах слоев ZrO$_2$ формируются сферические нанокристаллы типа Si$_x$Zr$_y$O$_z$ с диаметрами, превышающими толщину исходных слоев, вследствие реакции между SiO$_x$ и ZrO$_2$. Структурная эволюция при отжигах согласуется с рассмотренным ранее поведением оптических и люминесцентных свойств системы.