Физика и техника полупроводников
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Физика и техника полупроводников:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Физика и техника полупроводников, 2014, том 48, выпуск 1, страницы 61–66 (Mi phts7484)  
Эта публикация цитируется в 8 научных статьях (всего в 8 статьях)

Физика полупроводниковых приборов

Оптимизация технологии нанесения тонких пленок ITO, применяемых в качестве прозрачных проводящих контактов светодиодов синего и ближнего ультрафиолетового диапазонов

И. П. Смирноваab, Л. К. Марковab, А. С. Павлюченкоab, М. В. Кукушкинbc, С. И. Павловa

a Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, 194021 Санкт-Петербург, Россия
b НТЦ микроэлектроники Российской академии наук, 194021 Санкт-Петербург, Россия
c ЗАО "Инновационная фирма "ТЕТИС"", 194156 Санкт-Петербург, Россия
PDF полного текста (1187 kB) Список цитирования (8)
Аннотация: Исследованы структурные, оптические и электрические свойства пленок оксида индия и олова (ITO), полученных электронно-лучевым испарением, магнетронным напылением и комбинированным способом. Показано, что, несмотря на высокую прозрачность электронно-лучевых пленок ITO в видимом диапазоне, их проводимость и показатель преломления заметно ниже аналогичных параметров для пленок ITO, полученных методом магнетронного напыления. Разработана технология создания двухслойных систем способом, комбинирующим эти два метода нанесения. В результате получены пленки, которые обладают преимуществами магнетронных слоев и могут быть применены в качестве контактных слоев к области $p$-GaN в светодиодах синего и ближнего ультрафиолетового диапазонов.
Поступила в редакцию: 28.05.2013
Принята в печать: 04.06.2013
Англоязычная версия:
Semiconductors, 2014, Volume 48, Issue 1, Pages 58–62
DOI: https://doi.org/10.1134/S1063782614010230
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: И. П. Смирнова, Л. К. Марков, А. С. Павлюченко, М. В. Кукушкин, С. И. Павлов, “Оптимизация технологии нанесения тонких пленок ITO, применяемых в качестве прозрачных проводящих контактов светодиодов синего и ближнего ультрафиолетового диапазонов”, Физика и техника полупроводников, 48:1 (2014), 61–66; Semiconductors, 48:1 (2014), 58–62
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{SmiMarPav14}
\by И.~П.~Смирнова, Л.~К.~Марков, А.~С.~Павлюченко, М.~В.~Кукушкин, С.~И.~Павлов
\paper Оптимизация технологии нанесения тонких пленок ITO, применяемых в качестве прозрачных проводящих контактов светодиодов синего и ближнего ультрафиолетового диапазонов
\jour Физика и техника полупроводников
\yr 2014
\vol 48
\issue 1
\pages 61--66
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/phts7484}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=21310693}
\transl
\jour Semiconductors
\yr 2014
\vol 48
\issue 1
\pages 58--62
\crossref{https://doi.org/10.1134/S1063782614010230}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/phts7484
  • https://www.mathnet.ru/rus/phts/v48/i1/p61
    • Эта публикация цитируется в следующих 8 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Физика и техника полупроводников Физика и техника полупроводников
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2025