Определение состава многокомпонентных халькогенидных полупроводников методом рентгенофлюоресцентного анализа

Количественный состав стеклообразных сплавов As$_x$(Ge$_y$Se$_{1-y}$)$_{1-x}$ определялся путем измерения рентгенофлюоресцентного спектра эталонного сплава Ge$_{0.2}$As$_{0.4}$Se$_{0.4}$, из рентгенофлюоресцентных спектров рассчитывались атомные доли мышьяка, германия и селена, а затем строились зависимости $x_{\mathrm{RFA}}=f(x)$ и $y_{\mathrm{RGA}}= f(y)$, которые позволяют определить состав стекол с точностью $\pm$ 0.0005 для $x$ и $y$. Эта методика оказывается эффективной для определения концентрации примеси олова в кристаллических твердых растворах Pb$_{1-x}$Sn$_x$Se. Однако для стеклообразных сплавов типа Te$_x$(As$_y$Se$_{1-y}$)$_{1-x}$ оказывается невозможным определить содержание теллура в связи с тем, что компоненты сплавов имеют существенно различные рентгеноспектральные характеристики.