Получение двухслойных структур “композит на изоляторе” на основе пористого кремния и SnO$_x$, исследование их электрофизических и газочувствительных свойств

Цель данной работы – создание и исследование многослойных сенсорных структур “композит на изоляторе” на основе пористого кремния и нестехиометрического оксида олова. Были получены двухслойные структуры: “макропористый кремний-мезопористый кремний” на монокристаллическом кремнии с резкими геометрическими границами. Созданы тестовые структуры “композит-на-изоляторе”, где изолятором являются окисел на стенках макропористого кремния и захороненный слой окисленного мезопористого кремния, а чувствительным слоем – нестехиометрический оксид олова, осажденный на развитую поверхность окисленного макропористого кремния из парогазовой фазы (CVD-метод). Газовая чувствительность исследовалась при экспозиции в NO$_2$ и дегазации на воздухе при комнатной температуре. Чувствительность композитных структур por-Si/SnO$_x$ превышает чувствительность пленочных образцов оксида олова.