Легирование кремния селеном методом диффузии из газовой фазы

Изучался результат легирования селеном монокристаллов кремния при введении примеси методом диффузии из газовой фазы. Легирование проводилось в отпаянных кварцевых ампулах при температуре 1240$^\circ$C в течение 240 ч. Исследована зависимость концентрации вводимых глубоких донорных центров различного типа от давления пара диффузанта $p_{\mathrm{Se}}$. Найдено, что при относительно малых $p_{\mathrm{Se}}$ (0.02–0.06 атм) можно получать образцы с концентрацией атомарных центров Se, превышающей 10$^{15}$ см$^{-3}$. При этом содержание двухатомных комплексов Se$_2$ будет меньше на порядок и более величины. Полученные результаты могут представлять интерес в задачах исследования нелинейных оптических явлений с участием глубоких донорных центров в кремнии.