Физика и техника полупроводников
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Физика и техника полупроводников:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Физика и техника полупроводников, 2014, том 48, выпуск 6, страницы 759–762 (Mi phts7609)  
Эта публикация цитируется в 2 научных статьях (всего в 2 статьях)

Поверхность, границы раздела, тонкие пленки

Свойства пленок TiO$_2$ на кремниевых подложках

В. М. Калыгина, В. А. Новиков, Ю. С. Петрова, О. П. Толбанов, Е. В. Черников, С. Ю. Цупий, Т. М. Яскевич

Сибирский физико-технический институт им. акад. В. Д. Кузнецова при Томском государственном университете, 634050 Томск, Россия
PDF полного текста (847 kB) Список цитирования (2)
Аннотация: Исследовано влияние материала подложки и воздействие кислородной плазмы на микрорельеф и электрические характеристики пленок TiO$_2$, полученных ВЧ магнетронным распылением. Показано, что наиболее сплошные пленки с меньшей шероховатостью получаются при напылении их на кремниевые подложки. Изменение вольт-фарадных и вольт-сименсных характеристик структур после воздействия кислородной плазмы объясняется диффузией атомов кислорода через пленку оксида титана и появлением слоя SiО$_2$ на границе Si–TiO$_2$.
Поступила в редакцию: 10.09.2013
Принята в печать: 21.09.2013
Англоязычная версия:
Semiconductors, 2014, Volume 48, Issue 6, Pages 739–742
DOI: https://doi.org/10.1134/S1063782614060141
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: В. М. Калыгина, В. А. Новиков, Ю. С. Петрова, О. П. Толбанов, Е. В. Черников, С. Ю. Цупий, Т. М. Яскевич, “Свойства пленок TiO$_2$ на кремниевых подложках”, Физика и техника полупроводников, 48:6 (2014), 759–762; Semiconductors, 48:6 (2014), 739–742
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{KalNovPet14}
\by В.~М.~Калыгина, В.~А.~Новиков, Ю.~С.~Петрова, О.~П.~Толбанов, Е.~В.~Черников, С.~Ю.~Цупий, Т.~М.~Яскевич
\paper Свойства пленок TiO$_2$ на кремниевых подложках
\jour Физика и техника полупроводников
\yr 2014
\vol 48
\issue 6
\pages 759--762
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/phts7609}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=22018861}
\transl
\jour Semiconductors
\yr 2014
\vol 48
\issue 6
\pages 739--742
\crossref{https://doi.org/10.1134/S1063782614060141}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/phts7609
  • https://www.mathnet.ru/rus/phts/v48/i6/p759
    • Эта публикация цитируется в следующих 2 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Физика и техника полупроводников Физика и техника полупроводников
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2025