Физика и техника полупроводников
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Физика и техника полупроводников:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Физика и техника полупроводников, 2014, том 48, выпуск 6, страницы 763–767 (Mi phts7620)  
Эта публикация цитируется в 1 научной статье (всего в 1 статье)

Поверхность, границы раздела, тонкие пленки

Влияние ионно-лучевой обработки в процессе реактивного высокочастотного магнетронного распыления на макронапряжения ITO пленок

П. Н. Крылов, Р. М. Закирова, И. В. Федотова

Удмуртский государственный университет, 426034 Ижевск, Россия
PDF полного текста (192 kB) Список цитирования (1)
Аннотация: Прозрачные проводящие пленки оксида индия, легированного оловом, получены методом чередующихся процессов реактивного ВЧ магнетронного распыления и ионной обработки. Рентгенографически исследованы напряженные состояния ITO пленок. Показано влияние технологических режимов на изменение макронапряжений в пленках ITO.
Поступила в редакцию: 15.10.2013
Принята в печать: 21.10.2013
Англоязычная версия:
Semiconductors, 2014, Volume 48, Issue 6, Pages 743–747
DOI: https://doi.org/10.1134/S1063782614060177
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: П. Н. Крылов, Р. М. Закирова, И. В. Федотова, “Влияние ионно-лучевой обработки в процессе реактивного высокочастотного магнетронного распыления на макронапряжения ITO пленок”, Физика и техника полупроводников, 48:6 (2014), 763–767; Semiconductors, 48:6 (2014), 743–747
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{KriZakFed14}
\by П.~Н.~Крылов, Р.~М.~Закирова, И.~В.~Федотова
\paper Влияние ионно-лучевой обработки в процессе реактивного высокочастотного магнетронного распыления на макронапряжения ITO пленок
\jour Физика и техника полупроводников
\yr 2014
\vol 48
\issue 6
\pages 763--767
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/phts7620}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=22018862}
\transl
\jour Semiconductors
\yr 2014
\vol 48
\issue 6
\pages 743--747
\crossref{https://doi.org/10.1134/S1063782614060177}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/phts7620
  • https://www.mathnet.ru/rus/phts/v48/i6/p763
    • Эта публикация цитируется в следующих 1 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Физика и техника полупроводников Физика и техника полупроводников
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2025