|
|
Физика и техника полупроводников, 2014, том 48, выпуск 6, страницы 814–817
(Mi phts7629)
|
|
|
|
Полупроводниковые структуры, низкоразмерные системы, квантовые явления
Электрофизические свойства многослойной структуры SiC–Si
В. Б. Божевольнов, А. М. Яфясов, В. Ю. Миайловский, Ю. В. Егорова, А. А. Соколов, Е. О. Филатова Санкт-Петербургский государственный университет, физический факультет, 198504 Санкт-Петербург, Россия
Аннотация:
Представлен анализ зарядовых свойств многослойной структуры, состоящей из политипов карбида кремния на кремниевой подложке. Знание свойств области пространственного заряда кремния и возможность воздействия на поверхность структуры в эффекте поля [1] позволило получить данные о зарядовых процессах на межфазной границе политипов. Эти данные актуальны для совершенствования методов синтеза электронных структур на основе политипов SiC.
Поступила в редакцию: 14.10.2013 Принята в печать: 21.10.2013
Образец цитирования:
В. Б. Божевольнов, А. М. Яфясов, В. Ю. Миайловский, Ю. В. Егорова, А. А. Соколов, Е. О. Филатова, “Электрофизические свойства многослойной структуры SiC–Si”, Физика и техника полупроводников, 48:6 (2014), 814–817; Semiconductors, 48:6 (2014), 792–795
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/phts7629 https://www.mathnet.ru/rus/phts/v48/i6/p814
|
|