Диффузионный механизм роста полупроводниковых нитевидных нанокристаллов с участием горячих атомов

Развита кинетическая модель роста полупроводниковых нитевидных нанокристаллов за счет адсорбции из газовой среды, учитывающая наряду с поверхностной равновесной диффузией адатомов процессы неравновесной диффузии возбужденных (“горячих”) атомов, образованных в актах адсорбции, и их релаксацию в результате аккомодации энергии возбуждения по электронному каналу на каплях катализатора. Проведено моделирование процессов на поверхности с помощью вероятностного метода Монте-Карло. Показано, что процессы релаксации горячих адатомов могут определять скорость роста нитевидных нанокристаллов. Найдены условия, когда реализуется рост нитевидных нанокристаллов по механизмам равновесной или неравновесной диффузии адатомов. Показано, что скорость роста нитевидных нанокристаллов зависит от диаметра нанокапель, расстояния между ними и длины пробега возбужденных в актах адсорбции атомов.