|
|
Физика и техника полупроводников, 2014, том 48, выпуск 7, страницы 875–884
(Mi phts7640)
|
|
|
|
Эта публикация цитируется в 6 научных статьях (всего в 6 статьях)
Электронные свойства полупроводников
Спектры поглощения тонких пленок TiO$_2$, синтезированных реактивным высокочастотным магнетронным распылением титана
В. М. Иевлевa, С. Б. Кущевb, А. Н. Латышевa, Л. Ю. Леоноваa, О. В. Овчинниковa, М. С. Смирновa, Е. В. Поповаa, А. В. Костюченкоa, С. А. Солдатенкоb a Воронежский государственный университет, 394006 Воронеж, Россия
b Воронежский государственный технический университет, 394006 Воронеж, Россия
Аннотация:
Исследованы оптические спектры поглощения тонких пленок TiO$_2$ разного фазового состава (анатаз, рутил–брукит,
анатаз–рутил–брукит), полученных высокочастотным реактивным магнетронным распылением титана в разных атмосферах. Показана возможность применения метода вычитания спектров отдельных фаз в предположении аддитивности вклада каждой фазы в общий спектр при известной ее доле в слое. Выделены спектры фундаментального поглощения всех кристаллических модификаций многофазных пленок, обнаруженных при структурных исследованиях, и установлены края оптических переходов всех составляющих.
Поступила в редакцию: 29.10.2013 Принята в печать: 11.11.2013
Образец цитирования:
В. М. Иевлев, С. Б. Кущев, А. Н. Латышев, Л. Ю. Леонова, О. В. Овчинников, М. С. Смирнов, Е. В. Попова, А. В. Костюченко, С. А. Солдатенко, “Спектры поглощения тонких пленок TiO$_2$, синтезированных реактивным высокочастотным магнетронным распылением титана”, Физика и техника полупроводников, 48:7 (2014), 875–884; Semiconductors, 48:7 (2014), 848–858
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/phts7640 https://www.mathnet.ru/rus/phts/v48/i7/p875
|
|