Физика и техника полупроводников
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS



Физика и техника полупроводников:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти






Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация


Физика и техника полупроводников, 2014, том 48, выпуск 7, страницы 875–884 (Mi phts7640)  

Эта публикация цитируется в 6 научных статьях (всего в 6 статьях)

Электронные свойства полупроводников

Спектры поглощения тонких пленок TiO$_2$, синтезированных реактивным высокочастотным магнетронным распылением титана

В. М. Иевлевa, С. Б. Кущевb, А. Н. Латышевa, Л. Ю. Леоноваa, О. В. Овчинниковa, М. С. Смирновa, Е. В. Поповаa, А. В. Костюченкоa, С. А. Солдатенкоb

a Воронежский государственный университет, 394006 Воронеж, Россия
b Воронежский государственный технический университет, 394006 Воронеж, Россия
Аннотация: Исследованы оптические спектры поглощения тонких пленок TiO$_2$ разного фазового состава (анатаз, рутил–брукит, анатаз–рутил–брукит), полученных высокочастотным реактивным магнетронным распылением титана в разных атмосферах. Показана возможность применения метода вычитания спектров отдельных фаз в предположении аддитивности вклада каждой фазы в общий спектр при известной ее доле в слое. Выделены спектры фундаментального поглощения всех кристаллических модификаций многофазных пленок, обнаруженных при структурных исследованиях, и установлены края оптических переходов всех составляющих.
Поступила в редакцию: 29.10.2013
Принята в печать: 11.11.2013
Англоязычная версия:
Semiconductors, 2014, Volume 48, Issue 7, Pages 848–858
DOI: https://doi.org/10.1134/S1063782614070094
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: В. М. Иевлев, С. Б. Кущев, А. Н. Латышев, Л. Ю. Леонова, О. В. Овчинников, М. С. Смирнов, Е. В. Попова, А. В. Костюченко, С. А. Солдатенко, “Спектры поглощения тонких пленок TiO$_2$, синтезированных реактивным высокочастотным магнетронным распылением титана”, Физика и техника полупроводников, 48:7 (2014), 875–884; Semiconductors, 48:7 (2014), 848–858
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{IevKusLat14}
\by В.~М.~Иевлев, С.~Б.~Кущев, А.~Н.~Латышев, Л.~Ю.~Леонова, О.~В.~Овчинников, М.~С.~Смирнов, Е.~В.~Попова, А.~В.~Костюченко, С.~А.~Солдатенко
\paper Спектры поглощения тонких пленок TiO$_2$, синтезированных реактивным высокочастотным магнетронным распылением титана
\jour Физика и техника полупроводников
\yr 2014
\vol 48
\issue 7
\pages 875--884
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/phts7640}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=22018882}
\transl
\jour Semiconductors
\yr 2014
\vol 48
\issue 7
\pages 848--858
\crossref{https://doi.org/10.1134/S1063782614070094}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/phts7640
  • https://www.mathnet.ru/rus/phts/v48/i7/p875
  • Эта публикация цитируется в следующих 6 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    Физика и техника полупроводников Физика и техника полупроводников
     
      Обратная связь:
     Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2025