|
|
Физика и техника полупроводников, 2014, том 48, выпуск 8, страницы 1123–1131
(Mi phts7678)
|
|
|
|
Эта публикация цитируется в 10 научных статьях (всего в 10 статьях)
Изготовление, обработка, тестирование материалов и структур
Структурные и оптические свойства высоколегированных твердых растворов Al$_x$Ga$_{1-x}$As$_{1-y}$P$_y$ : Mg, полученных методом МОС-гидридной эпитаксии
П. В. Серединa, А. С. Леньшинa, А. В. Глотовa, И. Н. Арсентьевb, Д. А. Винокуровb, И. С. Тарасовb, T. Prutskijc, H. Leisted, M. Rinked a Воронежский государственный университет, 394006 Воронеж, Россия
b Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, 194021 Санкт-Петербург, Россия
c Instituto de Ciencias, Benemérita Universidad Autónoma de Puebla, 3417, Col San Miguel Hueyotlipan, 72050 Puebla, Pue., Mexico
d Karlsruhe Nano Micro Facility, 76344 Eggenstein-Leopoldshafen, Germany
Аннотация:
Методами высокоразрешающей рентгеновской дифракции, рамановской и фотолюминесцентной спектроскопии изучены структурные, оптические и энергетические свойства твердых растворов Al$_x$Ga$_{1-x}$As$_{1-y}$P$_y$ : Mg, выращенных методом МОС-гидридной эпитаксии. Показано, что введение примеси магния в четырехкомпонентный твердый раствор обеспечивает высокую концентрацию носителей заряда. Уменьшение температуры роста приводит к снижению концентрации носителей заряда в пленках, легированных магнием с малым потоком газа-носителя акцепторной примеси, в то время как повышение потока приводит к возрастанию концентрации акцепторной примеси, что отражается на характере спектров фотолюминесценции.
Поступила в редакцию: 02.12.2013 Принята в печать: 23.12.2013
Образец цитирования:
П. В. Середин, А. С. Леньшин, А. В. Глотов, И. Н. Арсентьев, Д. А. Винокуров, И. С. Тарасов, T. Prutskij, H. Leiste, M. Rinke, “Структурные и оптические свойства высоколегированных твердых растворов Al$_x$Ga$_{1-x}$As$_{1-y}$P$_y$ : Mg, полученных методом МОС-гидридной эпитаксии”, Физика и техника полупроводников, 48:8 (2014), 1123–1131; Semiconductors, 48:8 (2014), 1094–1102
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/phts7678 https://www.mathnet.ru/rus/phts/v48/i8/p1123
|
|