|
|
Физика и техника полупроводников, 2014, том 48, выпуск 8, страницы 1147–1151
(Mi phts7681)
|
|
|
|
Эта публикация цитируется в 4 научных статьях (всего в 4 статьях)
Изготовление, обработка, тестирование материалов и структур
Синтез многокомпонентных металлооксидных пленок различного состава (SnO$_2$)$_x$(ZnO)$_{1-x}$ ($x$ = 1–0.5)
С. И. Рембезаa, Н. Н. Кошелеваa, Е. С. Рембезаa, Т. В. Свистоваa, Е. Ю. Плотниковаa, Е. Suvacib, E. Özelb, G. Tuncolub, C. Açiksarib a Воронежский государственный технический университет,
394026 Воронеж, Россия
b Anadolu University, 26480 Eskişehir, Turkey
Аннотация:
Использованы высокочистые порошки SnO$_2$ и ZnO, полученные из растворов солей соответствующих металлов методом низкотемпературного гидротермального синтеза. Методом сухого прессования изготовлены фрагменты керамических мишеней SnO$_2$ и ZnO в виде брусков размером 1 $\times$ 8 см, которые использованы в качестве составных мишеней для ионно-лучевого распыления и изготовления пленок переменного состава (SnO$_2$)$_x$(ZnO)$_{1-x}$, $x$ = 1 – 0.5, пригодных для создания устройств газовой сенсорики или прозрачной электроники. Исследованы оптические и электрические параметры прозрачных пленок переменного состава.
Поступила в редакцию: 11.12.2013 Принята в печать: 23.12.2013
Образец цитирования:
С. И. Рембеза, Н. Н. Кошелева, Е. С. Рембеза, Т. В. Свистова, Е. Ю. Плотникова, Е. Suvaci, E. Özel, G. Tuncolu, C. Açiksari, “Синтез многокомпонентных металлооксидных пленок различного состава (SnO$_2$)$_x$(ZnO)$_{1-x}$ ($x$ = 1–0.5)”, Физика и техника полупроводников, 48:8 (2014), 1147–1151; Semiconductors, 48:8 (2014), 1118–1122
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/phts7681 https://www.mathnet.ru/rus/phts/v48/i8/p1147
|
|