Структурные и оптические свойства плeнок ZnO, полученных безвакуумным химическим методом

Плeнки ZnO получены новым химическим безвакуумным методом: путeм пиролиза ацетилацетоната цинка при температуре 280–300$^\circ$C. Исследованы структурные, фононные и излучающие свойства плeнок ZnO при помощи рентгеновской дифракции, сканирующей электронной микроскопии, комбинационного рассеяния света и фотолюминесцентной спектроскопии. Регистрация в рентгеновских дифракционных спектрах интенсивного пика (0002) указывает на преимущественную ориентацию кристаллитов в плeнках ZnO в направлении (0001). На основе анализа моды $E_2^{\mathrm{high}}$ в спектре комбинационного рассеяния света в плeнках ZnO определена величина упругих деформаций $\varepsilon_{zz}$ ($\sim$ 3.2 $\cdot$ 10$^{-3}$) и качество кристаллической структуры. Проведено сравнение характеристик полученной плeнки с аналогичными характеристиками плeнки ZnO, выращенной методом электронно-лучевой эпитаксии. В результате продемонстрирована возможность выращивания поликристаллических плeнок ZnO достаточно высокого качества c помощью низкотемпературного технологичного метода.