Влияние длительности электрохимического анодирования на микротвердость макропористого кремния

Исследована зависимость микротвердости $H$ формируемых макропористых слоев кремния от длительности электрохимического анодирования $t_{\mathrm{an}}$ при постоянной плотности тока $J$ = 20 мА/см$^2$. Показано, что нелинейный характер зависимости $H(t_{\mathrm{an}})$ обусловлен влиянием на микротвердость не только поверхностной плотности пор, но и монокристаллической основы при $L<$ 10 $h$, где $L$ и $h$ – толщина пористого слоя и глубина внедрения индентора соответственно.