|
|
Физика и техника полупроводников, 2014, том 48, выпуск 9, страницы 1243–1248
(Mi phts7698)
|
|
|
|
Эта публикация цитируется в 14 научных статьях (всего в 14 статьях)
Микро- и нанокристаллические, пористые, композитные полупроводники
Поверхность пористого кремния в процессах гидрофилизации и гидролитической деградации
В. П. Улинa, Н. В. Улинa, Ф. Ю. Солдатенковa, А. В. Семеновbc, А. В. Бобыльa a Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, 194021 Санкт-Петербург, Россия
b Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» им. В. И. Ульянова (Ленина), 197376 Санкт-Петербург, Россия
c НТЦ тонкопленочных технологий в энергетике, 194064 Санкт-Петербург, Россия
Аннотация:
На основе анализа спектров инфракрасного поглощения прослежены изменения химического состава поверхностных слоев мезопористых кристаллов кремния, происходящие при их гидрофилизации за счет окисления в растворах перекиси водорода, а также в результате опосредованного, через промежуточное бромирование, и прямого нуклеофильного замещения связанного водорода гидроксилом. Выявлен спонтанный процесс атомной перегруппировки с переносом атомов кислорода от адсорбированных ОН-групп в нижележащие слои атомов кристаллического скелета, приводящий к воспроизведению связей Si–H на его поверхности: –Si–Si–OH $\to$ –Si–O–Si–H. Рассмотрена последовательность элементарных процессов, обеспечивающих гидролитическую деградацию пористого кремния в слабощелочных средах. Отмечена роль деформаций химических связей в пористом кристалле в промотировании процесса гидролиза кремния. Показано, что модифицирование поверхности пористого кремния с помощью бромирования и последующей обработки в воде позволяет существенно повысить скорость его гидролитической деградации в слабощелочных растворах, аналогичных по величине рН биологическим жидкостям.
Поступила в редакцию: 24.01.2014 Принята в печать: 19.02.2014
Образец цитирования:
В. П. Улин, Н. В. Улин, Ф. Ю. Солдатенков, А. В. Семенов, А. В. Бобыль, “Поверхность пористого кремния в процессах гидрофилизации и гидролитической деградации”, Физика и техника полупроводников, 48:9 (2014), 1243–1248; Semiconductors, 48:9 (2014), 1211–1216
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/phts7698 https://www.mathnet.ru/rus/phts/v48/i9/p1243
|
|