|
|
Физика и техника полупроводников, 2014, том 48, выпуск 9, страницы 1287–1293
(Mi phts7706)
|
|
|
|
Эта публикация цитируется в 2 научных статьях (всего в 2 статьях)
Изготовление, обработка, тестирование материалов и структур
Мощные светодиодные кристаллы AlGaInN с двухуровневой металлизацией
Д. А. Закгеймab, Г. В. Иткинсонb, М. В. Кукушкинb, Л. К. Марковab, О. В. Осиповb, А. С. Павлюченкоa, И. П. Смирноваab, А. Е. Черняковc, Д. А. Бауманd a Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, 194021 Санкт-Петербург, Россия
b ООО "НТС Инновации", 194223 Санкт-Петербург, Россия
c Научно-технологический центр микроэлектроники и субмикронных гетероструктур РАН, г. Санкт-Петербург
d ЗАО "Светлана-Оптоэлектроника", 194156 Санкт-Петербург, Россия
Аннотация:
Сообщается о разработке и изготовлении мощного светодиодного флип-чип кристалла AlGaInN с новой топологией расположения контактных площадок. Использование двухуровневой схемы расположения металлизации с промежуточным изолирующим слоем диэлектрика позволило значительно повысить эффективность использования площади гетероструктуры (до 78%). Применение численного моделирования растекания тока при разработке топологии кристалла позволило достичь высокой однородности распределения тока накачки по площади активной области, а также низких значений дифференциального сопротивления (0.3 Ом). На основе разработанных кристаллов были изготовлены светодиоды с максимальным значением внешней квантовой эффективности 60% и выходной оптической мощностью 542 мВт при рабочем токе накачки 350 мА.
Поступила в редакцию: 27.12.2013 Принята в печать: 24.01.2014
Образец цитирования:
Д. А. Закгейм, Г. В. Иткинсон, М. В. Кукушкин, Л. К. Марков, О. В. Осипов, А. С. Павлюченко, И. П. Смирнова, А. Е. Черняков, Д. А. Бауман, “Мощные светодиодные кристаллы AlGaInN с двухуровневой металлизацией”, Физика и техника полупроводников, 48:9 (2014), 1287–1293; Semiconductors, 48:9 (2014), 1254–1259
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/phts7706 https://www.mathnet.ru/rus/phts/v48/i9/p1287
|
|