Планарные светоизлучающие микрорезонаторы на основе гидрогенизированного аморфного карбида кремния

Методом плазмохимического газофазного осаждения изготовлены планарные микрорезонаторы Фабри–Перо с излучающим на границе видимого и инфракрасного диапазонов спектра активным слоем. Микрорезонаторы состоят из активного слоя $a$-Si$_{1-x}$C$_x$ : H с повышенным содержанием углерода и распределенных брэгговских отражателей из чередующихся неизлучающих слоев $a$-Si$_{1-x}$C$_x$ : H/$a$-SiO$_2$. Активный слой и распределенные брэгговские отражатели выращены в едином технологическом цикле. Благодаря высокому оптическому контрасту и малому поглощению слоев распределенных брэгговских отражателей достигнута большая добротность микрорезонаторов ($Q$ = 316) и высокая степень направленности излучения из микрорезонаторов при трех парах слоев в распределенных брэгговских отражателях. Интенсивность фотолюминесценции при комнатной температуре оказывается на 2 порядка выше по сравнению с интенсивностью излучения идентичного слоя $a$-Si$_{1-x}$C$_x$ : H без распределенных брэгговских отражателей. Из сопоставления экспериментальных и рассчитанных методом матриц переноса с учетом дисперсии вещественной и мнимой частей показателя преломления $a$-Si$_{1-x}$C$_x$ : H спектров пропускания сделана оценка степени систематического отклонения толщин слоев в распределенных брэгговских отражателях и определена верхняя граница коэффициента поглощения в слоях $a$-Si$_{1-x}$C$_x$ : H.