Образование и отжиг метастабильных комплексов межузельный кислород-межузельный углерод в кремнии $n$- и $p$-типа

Экспериментально показано, что в отличие от стабильной конфигурации комплекса (межузельный углерод-межузельный кислород) (C$_i$O$_i$) его метастабильная конфигурация (C$_i$O$_i^*$) не может быть обнаружена в кремниевых $p^+$–$n$-структурах методом емкостной спектроскопии. Скорости перестройки C$_i$O$_i^*$ $\to$ C$_i$O$_i$ практически одинаковы в кремнии $n$- и $p$-типа с концентрацией носителей заряда менее 10$^{13}$ см$^{-3}$. Установлено, что вероятности одновременного формирования стабильной и метастабильной конфигураций исследуемого комплекса при присоединении атома межузельного углерода к атому межузельного кислорода близки к 50%. Это объясняется ориентационной зависимостью потенциала взаимодействия атома межузельного кислорода с диффундирующим к нему атомом межузельного углерода.