|
|
Физика и техника полупроводников, 2014, том 48, выпуск 12, страницы 1640–1645
(Mi phts7770)
|
|
|
|
Эта публикация цитируется в 8 научных статьях (всего в 8 статьях)
Полупроводниковые структуры, низкоразмерные системы, квантовые явления
Многопериодные квантово-каскадные наногетероструктуры: эпитаксия и диагностика
А. Ю. Егоровa, П. Н. Брунковab, Е. В. Никитинаa, Е. В. Пироговa, М. С. Соболевa, А. А. Лазаренкоa, М. В. Байдаковаb, Д. А. Кириленкоb, С. Г. Конниковb a Санкт-Петербургский академический университет — научно-образовательный центр нанотехнологий РАН (Академический университет), 194021 Санкт-Петербург, Россия
b Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, 194021 Санкт-Петербург, Россия
Аннотация:
Обсуждаются успехи технологии производства многопериодных наногетероструктур квантово-каскадных лазеров, с числом каскадов равным 60, методом молекулярно-пучковой эпитаксии с использованием промышленной многоподложечной установки. Приведены результаты исследования наногетероструктур квантово-каскадных лазеров методами просвечивающей электронной микроскопии, рентгеновской дифрактометрии высокого разрешения и картографирования фотолюминесценции.
Поступила в редакцию: 20.05.2014 Принята в печать: 30.05.2014
Образец цитирования:
А. Ю. Егоров, П. Н. Брунков, Е. В. Никитина, Е. В. Пирогов, М. С. Соболев, А. А. Лазаренко, М. В. Байдакова, Д. А. Кириленко, С. Г. Конников, “Многопериодные квантово-каскадные наногетероструктуры: эпитаксия и диагностика”, Физика и техника полупроводников, 48:12 (2014), 1640–1645; Semiconductors, 48:12 (2014), 1600–1604
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/phts7770 https://www.mathnet.ru/rus/phts/v48/i12/p1640
|
|