Физика и техника полупроводников
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Физика и техника полупроводников:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Физика и техника полупроводников, 2014, том 48, выпуск 12, страницы 1724–1726 (Mi phts7783)  
Эта публикация цитируется в 5 научных статьях (всего в 5 статьях)

Изготовление, обработка, тестирование материалов и структур

Синтез пленок титаната стронция золь–гель методом и перспективы их применения в электронной технике

Х. Сохраби Анаракиa, Н. В. Гапоненкоa, М. В. Руденкоa, А. Ф. Гукa, С. М. Завадскийa, Д. А. Голосовa, Б. С. Колосницынa, В. В. Колосb, А. Н. Петлицкийb, А. С. Турцевичb

a Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники, 220013 Минск, Белоруссия
b ОАО "ИНТЕГРАЛ", 220108 Минск, Белоруссия
PDF полного текста (911 kB) Список цитирования (5)
Аннотация: Золь-гель методом получены пленки титаната стронция на подложках кремния и структурах кремний/оксид титана/платина. Фаза титаната стронция зарегистрирована методом рентгенофазового анализа после термообработки при температурах 750 и 800$^\circ$C. Толщина пленок, полученных методом центрифугирования, возрастает от 50 до 250 нм с увеличением числа формируемых слоев и сопровождается ростом ее зерна. Обсуждаются перспективы развития золь-гель метода для формирования пленочных элементов электронной техники на основе ксерогелей SrTiO$_3$.
Поступила в редакцию: 20.05.2014
Принята в печать: 30.05.2014
Англоязычная версия:
Semiconductors, 2014, Volume 48, Issue 12, Pages 1685–1687
DOI: https://doi.org/10.1134/S1063782614120215
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: Х. Сохраби Анараки, Н. В. Гапоненко, М. В. Руденко, А. Ф. Гук, С. М. Завадский, Д. А. Голосов, Б. С. Колосницын, В. В. Колос, А. Н. Петлицкий, А. С. Турцевич, “Синтез пленок титаната стронция золь–гель методом и перспективы их применения в электронной технике”, Физика и техника полупроводников, 48:12 (2014), 1724–1726; Semiconductors, 48:12 (2014), 1685–1687
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{SohGapRud14}
\by Х.~Сохраби Анараки, Н.~В.~Гапоненко, М.~В.~Руденко, А.~Ф.~Гук, С.~М.~Завадский, Д.~А.~Голосов, Б.~С.~Колосницын, В.~В.~Колос, А.~Н.~Петлицкий, А.~С.~Турцевич
\paper Синтез пленок титаната стронция золь--гель методом и перспективы их применения в электронной технике
\jour Физика и техника полупроводников
\yr 2014
\vol 48
\issue 12
\pages 1724--1726
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/phts7783}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=22019032}
\transl
\jour Semiconductors
\yr 2014
\vol 48
\issue 12
\pages 1685--1687
\crossref{https://doi.org/10.1134/S1063782614120215}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/phts7783
  • https://www.mathnet.ru/rus/phts/v48/i12/p1724
    • Эта публикация цитируется в следующих 5 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Физика и техника полупроводников Физика и техника полупроводников
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2025