|
|
Физика и техника полупроводников, 2013, том 47, выпуск 1, страницы 9–14
(Mi phts7795)
|
|
|
|
Эта публикация цитируется в 7 научных статьях (всего в 7 статьях)
Неэлектронные свойства полупроводников (атомная структура, диффузия)
Свойства эпитаксиальных твердых растворов (Al$_x$Ga$_{1-x}$As)$_{1-y}$C$_y$, выращенных МОС-гидридной автоэпитаксией
П. В. Серединa, Э. П. Домашевскаяa, И. Н. Арсентьевb, Д. А. Винокуровb, А. Л. Станкевичb a Воронежский государственный университет
b Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, г. Санкт-Петербург
Аннотация:
Рост эпитаксиальных твердых растворов Al$_x$Ga$_{1-x}$As : C методом МОС-гидридной эпитаксии при низких температурах приводит к образованию четверных твердых растворов (Al$_x$Ga$_{1-x}$As)$_{1-y}$C$_y$, в которых атомы углерода могут концентрироваться на дефектах кристаллической решетки эпитаксиального твердого раствора с образованием нанокластеров примеси.
Поступила в редакцию: 11.04.2012 Принята в печать: 25.04.2012
Образец цитирования:
П. В. Середин, Э. П. Домашевская, И. Н. Арсентьев, Д. А. Винокуров, А. Л. Станкевич, “Свойства эпитаксиальных твердых растворов (Al$_x$Ga$_{1-x}$As)$_{1-y}$C$_y$, выращенных МОС-гидридной автоэпитаксией”, Физика и техника полупроводников, 47:1 (2013), 9–14; Semiconductors, 47:1 (2013), 7–12
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/phts7795 https://www.mathnet.ru/rus/phts/v47/i1/p9
|
|