|
|
Физика и техника полупроводников, 2013, том 47, выпуск 1, страницы 83–86
(Mi phts7807)
|
|
|
|
Эта публикация цитируется в 8 научных статьях (всего в 8 статьях)
Полупроводниковые структуры, низкоразмерные системы, квантовые явления
Влияние быстрой термообработки на вольт-амперные характеристики 4H-SiC-диодов с барьером Шоттки
П. А. Ивановa, Н. Д. Ильинскаяa, А. С. Потаповa, Т. П. Самсоноваa, А. В. Афанасьевb, В. А. Ильинb a Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, г. Санкт-Петербург
b Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» им. В. И. Ульянова (Ленина)
Аннотация:
Исследовано влияние быстрого термического отжига (температура 600–800$^\circ$C, длительность 2 мин) на прямые вольт-амперные характеристики 4H-SiC-диодов с барьером Шоттки. В качестве металла контактов Шоттки использовались вольфрам, никель, хром и молибден, осажденные электронно-лучевым напылением в вакууме. Для разных металлов обнаружен разный характер влияния термообработки на высоту барьера и на разброс параметров контактов, характеризующий степень их однородности.
Поступила в редакцию: 04.06.2012 Принята в печать: 11.06.2012
Образец цитирования:
П. А. Иванов, Н. Д. Ильинская, А. С. Потапов, Т. П. Самсонова, А. В. Афанасьев, В. А. Ильин, “Влияние быстрой термообработки на вольт-амперные характеристики 4H-SiC-диодов с барьером Шоттки”, Физика и техника полупроводников, 47:1 (2013), 83–86; Semiconductors, 47:1 (2013), 81–84
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/phts7807 https://www.mathnet.ru/rus/phts/v47/i1/p83
|
|