|
|
Физика и техника полупроводников, 2013, том 47, выпуск 2, страницы 211–215
(Mi phts7827)
|
|
|
|
Эта публикация цитируется в 12 научных статьях (всего в 12 статьях)
IX международная конференция "КРЕМНИЙ-2012" , Санкт-Петербург, 9-13 июля 2012 г.
Кремний с повышенным содержанием одноатомных центров серы: получение и оптическая спектроскопия
Ю. А. Астровa, S. A. Lynchb, В. Б. Шуманa, Л. М. Порцельa, А. А. Маховаa, А. Н. Лодыгинa a Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, г. Санкт-Петербург
b School of Physics and Astronomy, Cardiff University,
United Kingdom
Аннотация:
Изучался эффект высокотемпературного прогрева (при 1340$^\circ$C) образцов легированного серой кремния с последующей закалкой. Результат такой обработки исследовался с помощью измерений эффекта Холла в температурной области $T$ = 78–500 K. Обнаружено, что длительность прогрева существенно влияет на соотношение концентраций глубоких донорных центров серы разного типа. При относительно малых временах прогрева, $t$ = 2–10 мин, наблюдается значительное уменьшение концентрации квазимолекулярных центров S$_2$, а также комплексов $S_X$, тогда как плотность одноатомных центров S$_1$ растет. В то же время прогрев образцов сопровождается монотонным снижением во времени полной концентрации электрически активной серы. Проведенные исследования позволяют дать рекомендации относительно оптимальных условий получения образцов с высокой концентрацией S$_1$ центров. Спектры поглощения образцов показывают перспективы метода для задач наблюдения ряда квантово-оптических эффектов с участием глубоких доноров S$_1$ в кремнии.
Поступила в редакцию: 17.07.2012 Принята в печать: 17.07.2012
Образец цитирования:
Ю. А. Астров, S. A. Lynch, В. Б. Шуман, Л. М. Порцель, А. А. Махова, А. Н. Лодыгин, “Кремний с повышенным содержанием одноатомных центров серы: получение и оптическая спектроскопия”, Физика и техника полупроводников, 47:2 (2013), 211–215; Semiconductors, 47:2 (2013), 247–251
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/phts7827 https://www.mathnet.ru/rus/phts/v47/i2/p211
|
|