|
|
Физика и техника полупроводников, 2013, том 47, выпуск 2, страницы 216–222
(Mi phts7828)
|
|
|
|
Эта публикация цитируется в 16 научных статьях (всего в 16 статьях)
IX международная конференция "КРЕМНИЙ-2012" , Санкт-Петербург, 9-13 июля 2012 г.
Упорядоченные массивы наностержней оксида цинка на кремниевых подложках
А. Н. Редькин, М. В. Рыжова, Е. Е. Якимов, А. Н. Грузинцев Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН, 142432 Черноголовка, Россия
Аннотация:
Обобщены результаты экспериментальных исследований по газофазному выращиванию из элементов упорядоченных массивов наностержней оксида цинка на кремниевых подложках. Представлена модель “самокаталитического” роста наностержней ZnO по механизму пар-жидкость-кристалл, в которой роль катализатора направленного роста выполняют капли жидкого цинка. Разработанный метод позволяет осаждать упорядоченные массивы наностержней оксида цинка на кремниевых подложках различной ориентации без предварительного нанесения металла-катализатора или тонкого зародышевого слоя ZnO. Рассмотрено влияние различных факторов на скорость роста, размеры, форму и упорядоченное расположение наностержней ZnO. Полученные наностержни оксида цинка представляют собой высокочистые монокристаллы с малым содержанием точечных дефектов, пригодные для практического применения в оптоэлектронике, сенсорной и микросистемной технике.
Поступила в редакцию: 17.07.2012 Принята в печать: 20.07.2012
Образец цитирования:
А. Н. Редькин, М. В. Рыжова, Е. Е. Якимов, А. Н. Грузинцев, “Упорядоченные массивы наностержней оксида цинка на кремниевых подложках”, Физика и техника полупроводников, 47:2 (2013), 216–222; Semiconductors, 47:2 (2013), 252–258
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/phts7828 https://www.mathnet.ru/rus/phts/v47/i2/p216
|
|