Идентификация медных и медь–водородных комплексов в кремнии

Методом нестационарной спектроскопии глубоких уровней в работе изучаются центры, которые формируются в кремнии в результате взаимодействия между примесью меди в положении замещения Cu$_s$ и подвижными вблизи комнатных температур частицами: межузельными атомами меди Cu$_i$ или водорода H. Установлено, что известный фотолюминесцентный центр, включающий четыре атома меди, образуется на основе атома меди в положении замещения путем последовательного присоединения Cu$_i$. Оба промежуточных комплекса (Cu$_s$–Cu$_i$ и Cu$_s$–2Cu$_i$) идентифицированы по их глубоким уровням в нижней половине запрещенной зоны. Обнаружено, что Cus образует комплексы с одним, двумя, и тремя атомами водорода, причем Cu$_s$–H и Cu$_s$–2H являются электрически активными. Отмечается, что присоединение водорода или меди сходным образом влияет на структуру глубоких уровней Cu$_s$.