Физика и техника полупроводников
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Физика и техника полупроводников:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Физика и техника полупроводников, 2013, том 47, выпуск 2, страницы 264–266 (Mi phts7837)  
Эта публикация цитируется в 4 научных статьях (всего в 4 статьях)

Полупроводниковые структуры, низкоразмерные системы, квантовые явления

Исследование рекристаллизации KHC-структур при разных энергиях аморфизирующего пучка ионов

П. А. Александров, К. Д. Демаков, С. Г. Шемардов, Ю. Ю. Кузнецов

Национальный исследовательский центр "Курчатовский институт", г. Москва
PDF полного текста (159 kB) Список цитирования (4)
Аннотация: Кремниевые пленки на сапфировой подложке были получены с помощью рекристаллизации с границы раздела кремний–сапфир. Аморфный слой формировался при помощи ионной имплантации с энергией ионов кремния 90–150 кэВ. Рентгеновская кривая качания использовалась для оценки кристаллического совершенства кремниевых пленок. После рекристаллизации кремниевый слой состоял из двух частей с разным структурным качеством. Рекристаллизованные структуры кремний на сапфире имеют высокосовершенный верхний слой (для производства приборов микроэлектроники) и нижний слой с большим количеством дефектов, прилегающий к сапфировой подложке.
Поступила в редакцию: 06.08.2012
Принята в печать: 13.08.2012
Англоязычная версия:
Semiconductors, 2013, Volume 47, Issue 2, Pages 298–300
DOI: https://doi.org/10.1134/S1063782613020036
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: П. А. Александров, К. Д. Демаков, С. Г. Шемардов, Ю. Ю. Кузнецов, “Исследование рекристаллизации KHC-структур при разных энергиях аморфизирующего пучка ионов”, Физика и техника полупроводников, 47:2 (2013), 264–266; Semiconductors, 47:2 (2013), 298–300
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{AleDemShe13}
\by П.~А.~Александров, К.~Д.~Демаков, С.~Г.~Шемардов, Ю.~Ю.~Кузнецов
\paper Исследование рекристаллизации KHC-структур при разных энергиях аморфизирующего пучка ионов
\jour Физика и техника полупроводников
\yr 2013
\vol 47
\issue 2
\pages 264--266
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/phts7837}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=20319375}
\transl
\jour Semiconductors
\yr 2013
\vol 47
\issue 2
\pages 298--300
\crossref{https://doi.org/10.1134/S1063782613020036}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/phts7837
  • https://www.mathnet.ru/rus/phts/v47/i2/p264
    • Эта публикация цитируется в следующих 4 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Физика и техника полупроводников Физика и техника полупроводников
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2025