|
|
Физика и техника полупроводников, 2013, том 47, выпуск 3, страницы 348–352
(Mi phts7852)
|
|
|
|
Эта публикация цитируется в 10 научных статьях (всего в 10 статьях)
Полупроводниковые структуры, низкоразмерные системы, квантовые явления
Максимальная дрейфовая скорость электронов в селективно легированных гетероструктурах InAlAs/InGaAs/InAlAs с введенной InAs-вставкой
А. Л. Шиленасa, Ю. К. Пожелаa, К. Пожелаa, В. Юценеa, И. С. Васильевскийbc, Г. Б. Галиевb, С. С. Пушкаревb, Е. А. Климовb a Институт физики полупроводников Центра физических и технологических наук,
01108 Вильнюс, Литва
b Институт СВЧ полупроводниковой электроники Российской академии наук, 117105 Москва, Россия
c Национальный исследовательский ядерный университет "МИФИ", г. Москва
Аннотация:
Исследована зависимость подвижности и дрейфовой скорости электронов от условий роста, толщины и параметров легирования InAs-вставки в центре квантовой ямы селективно легированной гетероструктуры InAlAs/InGaAs/InAlAs. Получено рекордное повышение до (2–4) $\cdot$ 10$^7$ см/с дрейфовой скорости электронов в электрическом поле 5 $\cdot$ 10$^3$ В/см в квантовый яме InGaAs толщиной 17 нм при толщине нелегированной InAs-вставки 4 нм. Показано, что при дополнительном легировании InAs-вставки с повышением плотности электронов в квантовой яме до 4.0 $\cdot$ 10$^{12}$ см$^{-2}$ максимальная дрейфовая скорость достигает 2 $\cdot$ 10$^7$ см/с в поле 7 $\cdot$ 10$^3$ В/см.
Поступила в редакцию: 16.07.2012 Принята в печать: 25.07.2012
Образец цитирования:
А. Л. Шиленас, Ю. К. Пожела, К. Пожела, В. Юцене, И. С. Васильевский, Г. Б. Галиев, С. С. Пушкарев, Е. А. Климов, “Максимальная дрейфовая скорость электронов в селективно легированных гетероструктурах InAlAs/InGaAs/InAlAs с введенной InAs-вставкой”, Физика и техника полупроводников, 47:3 (2013), 348–352; Semiconductors, 47:3 (2013), 372–375
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/phts7852 https://www.mathnet.ru/rus/phts/v47/i3/p348
|
|