|
|
Физика и техника полупроводников, 2013, том 47, выпуск 4, страницы 516–520
(Mi phts7879)
|
|
|
|
Эта публикация цитируется в 3 научных статьях (всего в 3 статьях)
Физика полупроводниковых приборов
Полевой транзистор на основе наностержней ZnO с изменяемым пороговым напряжением отсечки
А. Н. Грузинцевa, А. Н. Редькинa, C. Opokub, М. Н. Шкуновa a Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН, 142432 Черноголовка, Россия
b Advanced Technology Institute, University of Surrey, Guildford,
GU2 7XH, UK
Аннотация:
Посвящена изготовлению и электрическим параметрам полевых транзисторов (FETs) с коротким каналом (2 мкм) на основе наностержней ZnO. Для изготовления полевых транзисторов использовались наностержни ZnO, полученные методом CVD-синтеза без катализатора. Хотя полевые транзисторы из коротких монокристаллических наностержней ZnO имеют хорошие электрические параметры: крутизну 100 нС, подвижность носителей 6 см$^2$/(B $\cdot$ с) и большой коэффициент запирания 10$^4$, их характеристики зависят от длины наностержней. Исследовано влияние величины напряжения сток-исток на значение порогового напряжения отсечки на затворе.
Поступила в редакцию: 30.05.2012 Принята в печать: 21.06.2012
Образец цитирования:
А. Н. Грузинцев, А. Н. Редькин, C. Opoku, М. Н. Шкунов, “Полевой транзистор на основе наностержней ZnO с изменяемым пороговым напряжением отсечки”, Физика и техника полупроводников, 47:4 (2013), 516–520; Semiconductors, 47:4 (2013), 538–542
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/phts7879 https://www.mathnet.ru/rus/phts/v47/i4/p516
|
|