Структурные и оптические свойства тонких пленок In$_2$O$_3$, полученных автоволновым окислением

Пленки кубической фазы In$_2$O$_3$ получены автоволновой реакцией окисления. Электронно-микроскопические исследования и фотоэлектронная спектроскопия профилей распределения показали, что образцы однородны по всей площади и толщине, характерный размер зерна 20–40 нм. Проведены исследования оптических и электрических свойств пленок In$_2$O$_3$ , полученных при различном давлении в вакуумной камере. В диапазоне длины волн 400–1100 нм пленки имели прозрачность более 85% и удельное сопротивление 1.8 $\cdot$ 10$^{-2}$ Ом $\cdot$ см.