|
|
Физика и техника полупроводников, 2013, том 47, выпуск 6, страницы 737–739
(Mi phts7917)
|
|
|
|
Электронные свойства полупроводников
Метод определения степени компенсации электрически активных примесей в многодолинных полупроводниках
П. И. Баранскийa, Г. П. Гайдарb a Институт физики полупроводников им. В. Е. Лашкарева НАН Украины, г. Киев
b Институт ядерных исследований НАН Украины
Аннотация:
Предложен метод определения степени компенсации $k=N_a/N_d$ для примесей мелкого залегания в кристаллах $n$-Si с невырожденным электронным газом. Приведены необходимые данные, которые обеспечивают удобство при практическом нахождении степени компенсации.
Поступила в редакцию: 15.03.2012 Принята в печать: 19.09.2012
Образец цитирования:
П. И. Баранский, Г. П. Гайдар, “Метод определения степени компенсации электрически активных примесей в многодолинных полупроводниках”, Физика и техника полупроводников, 47:6 (2013), 737–739; Semiconductors, 47:6 (2013), 745–748
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/phts7917 https://www.mathnet.ru/rus/phts/v47/i6/p737
|
|