|
|
Физика и техника полупроводников, 2013, том 47, выпуск 6, страницы 802–804
(Mi phts7930)
|
|
|
|
Эта публикация цитируется в 14 научных статьях (всего в 14 статьях)
Углеродные системы
Сравнительные характеристики спектров комбинационного рассеяния света пленок графена на проводящих и полуизолирующих подложках 6H-SiC
Р. В. Конаковаa, А. Ф. Коломысa, О. Б. Охрименкоa, В. В. Стрельчукa, Е. Ю. Волковb, М. Н. Григорьевb, А. М. Светличныйb, О. Б. Спиридоновb a Институт физики полупроводников им. В. Е. Лашкарева НАН Украины, г. Киев
b Таганрогский технологический институт Южного федерального университета
Аннотация:
Исследованы спектры комбинационного рассеяния света (КРС) графена на полуизолирующих и проводящих подложках 6H-SiC, сформированных путем предварительного и дополнительного отжига карбида кремния при различных температурах. Оценены степень совершенства пленок графена и размеры его кластеров. Показано, что для получения слоев графена с аналогичным структурным совершенством на проводящих и полуизолирующих подложках температура дополнительного отжига в первом случае должна быть выше.
Поступила в редакцию: 18.07.2012 Принята в печать: 20.08.2012
Образец цитирования:
Р. В. Конакова, А. Ф. Коломыс, О. Б. Охрименко, В. В. Стрельчук, Е. Ю. Волков, М. Н. Григорьев, А. М. Светличный, О. Б. Спиридонов, “Сравнительные характеристики спектров комбинационного рассеяния света пленок графена на проводящих и полуизолирующих подложках 6H-SiC”, Физика и техника полупроводников, 47:6 (2013), 802–804; Semiconductors, 47:6 (2013), 812–814
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/phts7930 https://www.mathnet.ru/rus/phts/v47/i6/p802
|
|