|
|
Физика и техника полупроводников, 2013, том 47, выпуск 7, страницы 990–996
(Mi phts7975)
|
|
|
|
Эта публикация цитируется в 8 научных статьях (всего в 8 статьях)
Изготовление, обработка, тестирование материалов и структур
Исследование свойств новых конструкций метаморфного буфера InAlAs на подложках GaAs с распределенной компенсацией упругих деформаций
Г. Б. Галиевa, С. С. Пушкаревab, И. С. Васильевскийb, Е. А. Климовa, Р. М. Имамовc a Институт сверхвысокочастотной полупроводниковой электроники им. В. Г. Мокерова РАН, г. Москва
b Национальный исследовательский ядерный университет "МИФИ", г. Москва
c Институт кристаллографии им. А. В. Шубникова РАН, г. Москва
Аннотация:
Предложены и реализованы две новые конструкции метаморфного буфера, представляющие собой модификации линейного метаморфного буфера In$_x$Al$_{1-x}$As за счет групп слоев с отличающимися параметрами решетки, и позволяющие влиять на релаксацию метаморфного буфера. Также проведены исследования структурных и электрофизических характеристик полученных метаморфных НЕМТ-наногетероструктур.
Поступила в редакцию: 11.09.2012 Принята в печать: 17.09.2012
Образец цитирования:
Г. Б. Галиев, С. С. Пушкарев, И. С. Васильевский, Е. А. Климов, Р. М. Имамов, “Исследование свойств новых конструкций метаморфного буфера InAlAs на подложках GaAs с распределенной компенсацией упругих деформаций”, Физика и техника полупроводников, 47:7 (2013), 990–996; Semiconductors, 47:7 (2013), 997–1002
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/phts7975 https://www.mathnet.ru/rus/phts/v47/i7/p990
|
|