|
|
Физика и техника полупроводников, 2013, том 47, выпуск 8, страницы 1116–1121
(Mi phts7996)
|
|
|
|
Изготовление, обработка, тестирование материалов и структур
Особенности дефектообразования в процессах выращивания двойных гетероструктур для инжекционных лазеров на базе материалов Al$_x$Ga$_{1-x}$As$_y$Sb$_{1-y}$/GaSb
Г. Ф. Кузнецов Фрязинский филиал Института радиотехники и электроники им. В. А. Котельникова РАН
Аннотация:
Отсутствие дефектов кристаллической решeтки и, в особенности, отсутствие дислокаций в активном слое в сложных многослойных гетероэпитаксиальных системах является главным условием для эффективной и надeжной работы оптоэлектронных микроприборов. Минимальные упругие напряжения в многослойных гетероэпитаксиальных системах и их отсутствие в активном слое при той повышенной температуре, которая возникает в эффективно работающем электронном приборе, является вторым необходимым условием для периода его долговременной работы.
Поступила в редакцию: 03.09.2012 Принята в печать: 08.10.2012
Образец цитирования:
Г. Ф. Кузнецов, “Особенности дефектообразования в процессах выращивания двойных гетероструктур для инжекционных лазеров на базе материалов Al$_x$Ga$_{1-x}$As$_y$Sb$_{1-y}$/GaSb”, Физика и техника полупроводников, 47:8 (2013), 1116–1121; Semiconductors, 47:8 (2013), 1110–1115
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/phts7996 https://www.mathnet.ru/rus/phts/v47/i8/p1116
|
|