Физика и техника полупроводников
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Физика и техника полупроводников:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Физика и техника полупроводников, 2013, том 47, выпуск 9, страницы 1283–1287 (Mi phts8025)  
Эта публикация цитируется в 4 научных статьях (всего в 4 статьях)

Изготовление, обработка, тестирование материалов и структур

Влияние условий получения пленок полиморфного кремния на их структурные, электрические и оптические свойства

М. В. Хенкинa, А. В. Емельяновa, А. Г. Казанскийa, П. А. Форшb, П. К. Кашкаровab, Е. И. Теруковcd, Д. Л. Ореховd, P. Roca i Cabarrocase

a Физический факультет, Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова
b Национальный исследовательский центр "Курчатовский институт", г. Москва
c Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, г. Санкт-Петербург
d НТЦ тонкопленочных технологий в энергетике, г. С.-Петербург
e LPICM-CNRS, École polytechnique, 91128 Palaiseau, France
PDF полного текста (290 kB) Список цитирования (4)
Аннотация: Исследовались структурные, оптические и фотоэлектрические свойства пленок полиморфного кремния, полученных методом плазмохимического осаждения из газовой смеси моносилана и водорода при высоком давлении. Изменение давления газовой смеси при получении пленок не приводило к существенному изменению измеренных для них спектров рамановского рассеяния, но вызывало изменение величины фотопроводимости и формы спектральной зависимости коэффициента поглощения, измеренной методом постоянного фототока. Наблюдаемое изменение оптических и фотоэлектрических параметров пленок связывается с некоторым изменением их структуры при изменении параметров осаждения.
Поступила в редакцию: 21.01.2013
Принята в печать: 31.01.2013
Англоязычная версия:
Semiconductors, 2013, Volume 47, Issue 9, Pages 1271–1274
DOI: https://doi.org/10.1134/S1063782613090108
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: М. В. Хенкин, А. В. Емельянов, А. Г. Казанский, П. А. Форш, П. К. Кашкаров, Е. И. Теруков, Д. Л. Орехов, P. Roca i Cabarrocas, “Влияние условий получения пленок полиморфного кремния на их структурные, электрические и оптические свойства”, Физика и техника полупроводников, 47:9 (2013), 1283–1287; Semiconductors, 47:9 (2013), 1271–1274
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{KheEmeKaz13}
\by М.~В.~Хенкин, А.~В.~Емельянов, А.~Г.~Казанский, П.~А.~Форш, П.~К.~Кашкаров, Е.~И.~Теруков, Д.~Л.~Орехов, P.~Roca i Cabarrocas
\paper Влияние условий получения пленок полиморфного кремния на их структурные, электрические и оптические свойства
\jour Физика и техника полупроводников
\yr 2013
\vol 47
\issue 9
\pages 1283--1287
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/phts8025}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=20319568}
\transl
\jour Semiconductors
\yr 2013
\vol 47
\issue 9
\pages 1271--1274
\crossref{https://doi.org/10.1134/S1063782613090108}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/phts8025
  • https://www.mathnet.ru/rus/phts/v47/i9/p1283
    • Эта публикация цитируется в следующих 4 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Физика и техника полупроводников Физика и техника полупроводников
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2025